简介
国家标准《集成电路制造设备术语》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号：GB/T 40577-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
标准类别：基础
中国标准分类号：L95
国际标准分类号： 31.220
31 电子学 31.220 电子电信设备用机电元件归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
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