电子工业用气体 六氟化硫检测

(CMA)     (ISO) (高新技术企业)

检测范围

电子工业用六氟化硫（SF₆）的检测范围涵盖其生产、储存、使用及回收的全生命周期。具体包括：

1. 生产环节：原料气纯度、合成工艺中间产物；
2. 储存与运输：钢瓶或储罐内气体的稳定性与泄漏风险；
3. 应用场景：电力设备（如断路器、变压器）绝缘气体性能监测；
4. 回收处理：废气中SF₆的残留量及分解产物分析。

检测项目

针对六氟化硫的关键检测项目包括：

1. 纯度分析：SF₆主成分含量（通常要求≥99.9%）；
2. 杂质气体：空气（N₂、O₂）、四氟化碳（CF₄）、二氧化碳（CO₂）等；
3. 水分含量（H₂O）：控制标准为≤5 ppmv（电力设备用气）；
4. 分解产物：硫化物（如SF₄、SO₂、SOF₂）、氟化物（HF、SiF₄）等毒性物质；
5. 酸度与可水解氟化物：反映气体腐蚀性；
6. 生物安全性：检测是否存在微生物污染。

检测仪器

1. 气相色谱仪（GC）：用于分析SF₆纯度及非极性杂质（如CF₄、空气）；
2. 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：检测极性分解产物（如SO₂、HF）；
3. 露点仪/微量水分测定仪：测定气体中H₂O含量（原理：冷镜法或电容法）；
4. 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：定性定量分析痕量有毒分解产物；
5. 电化学传感器：现场快速检测SF₆泄漏及O₂含量；
6. 酸度计：测定气体中可水解氟化物的pH值。

检测方法

1. 纯度与杂质检测

   • 气相色谱法（GC）：采用热导检测器（TCD）或脉冲放电氦离子化检测器（PDHID），以高纯氦气为载气，通过色谱柱分离SF₆与杂质，外标法定量（参照ASTM D2685）。
   • 红外光谱法（FTIR）：利用特征吸收峰（如SF₆在940 cm⁻¹、SO₂在1360 cm⁻¹）进行定性与定量分析。

2. 水分检测

   • 冷镜露点法：将气体冷却至水蒸气结露，通过光学传感器测定露点温度并换算为含水量（依据IEC 60376标准）。
   • 电解法：气体通过五氧化二磷（P₂O₅）涂层传感器，水分电解产生的电流与H₂O浓度成正比。

3. 分解产物检测

   • GC-MS法：通过DB-5MS色谱柱分离分解产物，质谱库匹配定性，内标法或标准曲线法定量。
   • 化学滴定法：如用氢氧化钠溶液吸收HF，通过酸碱滴定计算氟化物含量。

4. 酸度检测

   • 水吸收-电位滴定法：将气体通入去离子水吸收可水解氟化物，用pH电极或氟离子选择电极测定酸度（参照GB/T 18867）。

5. 泄漏检测

   • 激光成像技术：利用SF₆对特定波长激光的吸收特性，通过红外相机可视化气体泄漏点。
   • 皂膜流量计法：定量测定密封系统的泄漏速率。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。