简介

国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。

基本信息

标准号:GB/T 1551-2021

发布日期:2021-05-21

实施日期: 2021-12-01

全部代替标准: GB/T 1551-2009

标准类别:方法

中国标准分类号:H21

国际标准分类号: 77.040 77 冶金 77.040 金属材料试验

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

相关标准

 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

20181809-T-469  硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

GB/T 1552-1995  硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法

GB/T 1551-1995  硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法

20065629-T-469  硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 6617-1995  硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 6617-2009  硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

20060505-T-469  硅单晶电阻率测定方法

GB/T 1551-2009  硅单晶电阻率测定方法

20075054-T-469  锗单晶电阻率直流四探针测量方法