简介
国家标准《硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号：GB/T 40279-2021
发布日期：2021-08-20
实施日期： 2022-03-01
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
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