GB/T 40868-2021 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

(CMA)     (ISO) (高新技术企业)

简介

国家标准《纳米尺度科研生产受控环境规划与设计》 由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口，TC319SC1（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会纳米受控环境分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

基本信息

标准号：GB/T 40868-2021

发布日期：2021-10-11

实施日期： 2022-05-01

标准类别：方法

中国标准分类号：C70

国际标准分类号： 13.040.35 13 环保、保健和安全 13.040 空气质量 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

相关标准

20152019-T-469  纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

 纳米尺度的科研、生产受控环境 规划与设计

 洁净室及相关受控环境 第12部分：按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级

DB11/ 1761-2020  步行和自行车交通环境规划设计标准

20120937-T-491  纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范

GB/T 33657-2017  纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范

DB32/T 4378-2022  衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

 纳米技术 混合粉尘制造环境下纳米尺度范围内的炭黑和无定形二氧化硅空气浓度的定量测量方法

20221613-Z-491  纳米技术 混合粉尘制造环境下纳米尺度范围内的炭黑和无定形二氧化硅空气浓度的定量测量方法

20075696-T-469  钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法