简介
国家标准《电子特气 三氟化氮》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号：GB/T 21287-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
全部代替标准： GB/T 21287-2007
标准类别：产品
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
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