简介
国家标准《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号：GB/T 40566-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
标准类别：方法
中国标准分类号：H82
国际标准分类号： 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
相关标准
流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
20184311-T-469 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
20184307-T-469 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
GB/T 40561-2021 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
YB/T 4738-2019 硅钙合金 氧含量的测定 惰性气体熔融红外吸收法
硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
20173543-T-469 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
YB/T 4908.4-2021 钒铝合金 氢含量的测定 惰性气体熔融红外吸收法或热导法
