基础信息
- 标准号
- YS/T 1392-2020
- 发布日期
- 2020-12-09
- 实施日期
- 2021-04-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.04
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
- 标准类别
- 方法标准
备案信息
备案号:81096-2021
备案日期:2021-03-09
备案月报: 2021年第3号(总第251号)
适用范围
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。
起草单位
起草人