基础信息

标准号
SJ/T 11761-2020
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
制修订
制定
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31.55
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
无
标准类别
产品标准

备案信息

备案号：80907-2021

备案日期：2021-03-05

备案月报： 2021年第3号(总第251号)

适用范围

适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

起草单位

上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人

胡松立、郑教增、冯亚彬 等