简介
国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号：GB/T 41652-2022
发布日期：2022-07-11
实施日期： 2023-02-01
标准类别：产品
中国标准分类号：H 82
国际标准分类号： 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
相关标准
刻蚀机用硅电极及硅环
20194172-T-469 刻蚀机用硅电极及硅环
DB34/T 3438-2019 清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求
YB/T 5215-1996 电极糊
YS/T 1312-2019 钼电极
YB/T 4226-2010 炭电极
YB/T 5215-2015 电极糊
20077649-T-604 离子选择电极
20077495-T-604 电导电极
GB/T 26811-2011 离子选择电极
