基础信息

标准号
SJ/T 11451-2022
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
制修订
修订
代替标准
SJ/T 11451—2013
中国标准分类号
L 97
国际标准分类号
27.01
技术归口
中国电子技术标准化研究院
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
无
标准类别
方法标准

备案信息

备案号：89619-2023

备案日期：2023-06-08

备案月报： 2023年第6号(总第278号)

适用范围

适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳