简介
国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
基本信息
标准号：GB/T 42106-2022
发布日期：2022-12-30
实施日期： 2023-07-01
标准类别：方法
中国标准分类号：A42
国际标准分类号： 07.030
07 数学、自然科学 07.030 物理学、化学归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
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