简介
国家标准《氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
基本信息
标准号:GB/T 42274-2022
发布日期:2022-12-30
实施日期: 2023-04-01
标准类别:方法
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
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