双束电镜(FIB-SEM)

主要用途

双束电镜是将聚焦离子束和扫描电镜结合的高端设备。广泛应用于半导体制造、材料科学等领域，能够实现纳米加工和高分辨成像。

参数指标

SEM分辨率：≤1nm；FIB分辨率：≤3nm；离子束流：1pA-100nA；样品台：5轴联动。

主要样品类型

适用于微纳结构加工和表征，包括：半导体器件、纳米材料、薄膜、生物样品等。

主要实验项目

截面分析、TEM样品制备、纳米加工、离子刻蚀、三维重构等。