双束电镜(FIB-SEM)
主要用途
双束电镜是将聚焦离子束和扫描电镜结合的高端设备。广泛应用于半导体制造、材料科学等领域，能够实现纳米加工和高分辨成像。
参数指标
SEM分辨率：≤1nm；FIB分辨率：≤3nm；离子束流：1pA-100nA；样品台：5轴联动。
主要样品类型
适用于微纳结构加工和表征，包括：半导体器件、纳米材料、薄膜、生物样品等。
主要实验项目
截面分析、TEM样品制备、纳米加工、离子刻蚀、三维重构等。
旗下实验室资质
我司旗下实验室具备CMA资质认定及CNAS认可，具体项目是否在资质认定/实验室认可范围内请与工程师确认。
CMA计量认证证书
CNAS实验室认可证书
ISO资质
高新技术企业资质
