光学薄膜原件检测

(CMA)     (ISO) (高新技术企业)

检测范围

光学薄膜元件的检测范围主要包括各类光学镀膜产品，如增透膜、反射膜、滤光片、偏振膜、分光膜等，广泛应用于光学镜头、显示器面板、激光器件、光伏组件、光学传感器等领域。检测对象涵盖玻璃、塑料、金属等基底材料上的单层或多层薄膜结构，涉及可见光、红外、紫外等不同波段的光学性能评估。

检测项目

1. 光学性能：包括薄膜的透射率、反射率、吸收率、折射率、偏振特性及光谱响应曲线。
2. 厚度与均匀性：单层或多层薄膜的物理厚度、厚度分布均匀性及界面质量。
3. 表面质量：检测薄膜表面的粗糙度、划痕、针孔、颗粒污染等缺陷。
4. 机械性能：评估薄膜的附着力、硬度、耐磨性及抗划伤能力。
5. 环境稳定性：测试薄膜在高温、低温、湿热、盐雾、紫外辐照等环境下的耐久性。
6. 化学特性：分析薄膜的成分、化学稳定性及抗腐蚀性能。

检测仪器

1. 椭偏仪：用于测量薄膜厚度、折射率及光学常数。
2. 分光光度计：测定透射率、反射率及吸收率的光谱数据。
3. 原子力显微镜（AFM）和白光干涉仪：检测表面粗糙度及微观形貌。
4. 划痕测试仪和纳米压痕仪：评估薄膜附着力与机械强度。
5. 环境试验箱：模拟高低温、湿热、盐雾等条件测试环境稳定性。
6. X射线衍射仪（XRD）和X射线光电子能谱仪（XPS）：分析薄膜成分及结构。
7. 光学显微镜和激光共聚焦显微镜：观察表面缺陷与微观结构。

检测方法

1. 光学性能检测：

   • 使用分光光度计在特定波长范围（如200-2500 nm）内扫描样品，记录透射/反射光谱数据，结合理论模型（如传输矩阵法）计算光学参数。
   • 椭偏仪通过测量偏振光与薄膜相互作用后的相位和振幅变化，反演薄膜厚度及折射率。

2. 厚度与均匀性检测：

   • 采用非接触式椭偏仪或干涉仪，通过多点扫描获取薄膜厚度分布图，评估均匀性。
   • 对多层膜结构，结合X射线反射法（XRR）精确测定各层厚度。

3. 表面质量分析：

   • 原子力显微镜（AFM）在纳米尺度扫描表面形貌，量化粗糙度（Ra、RMS值）。
   • 白光干涉仪通过光干涉条纹分析表面缺陷（如划痕、孔洞）的三维形貌。

4. 机械性能测试：

   • 划痕测试仪以渐进载荷划擦薄膜表面，通过临界载荷值判定附着力等级（如ISO 20502标准）。
   • 纳米压痕仪测量薄膜硬度与弹性模量，评估抗变形能力。

5. 环境稳定性试验：

   • 将样品置于环境试验箱中，依据标准（如IEC 60068）进行温度循环（-40°C至85°C）、湿热（85°C/85% RH）或紫外老化测试，对比试验前后光学性能变化。

6. 化学成分分析：

   • X射线光电子能谱仪（XPS）通过检测薄膜表面元素结合能，确定成分及化学态。
   • 能量色散X射线光谱（EDS）配合电子显微镜实现成分的微区分析。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。